一种椭圆偏振仪的校准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210375771.X

申请日：

2012-09-29

公开(公告)号：

CN102879337B

公开(公告)日：

2013-01-16

发明(设计)人：

徐鹏刘涛王林梓刘健鹏李国光

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

刘丽君

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-16	公开	公开
2015-08-19	授权	授权
2013-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101401318281 IPC(主分类):G01N 21/21 专利申请号:201210375771X 申请日:20120929
2019-09-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20120929 授权公告日:20150819 终止日期:20180929

共 50 条

[1]

一种包含相位补偿器的椭圆偏振仪的校准方法 [P].

徐鹏 ;

王林梓 ;

刘涛 ;

刘健鹏 ;

李国光 .

中国专利 :CN102878940B ,2013-01-16

[2]

一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法 [P].

刘涛 ;

崔高增 ;

李国光 ;

熊伟 ;

温朗枫 .

中国专利 :CN104677835A ,2015-06-03

[3]

一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677837A ,2015-06-03

[4]

一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统 [P].

刘涛 ;

崔高增 ;

李国光 ;

熊伟 ;

温朗枫 .

中国专利 :CN104677836A ,2015-06-03

[5]

快照椭圆偏振仪 [P].

G·A·P·霍沃尔卡 ;

J·A·范德斯利斯 .

中国专利 :CN111542734A ,2020-08-14

[6]

一种利用全穆勒矩阵椭圆偏振仪进行光学测量的方法 [P].

刘涛 ;

崔高增 ;

李国光 ;

熊伟 ;

温朗枫 .

中国专利 :CN104677834A ,2015-06-03

[7]

一种椭圆偏振测厚仪 [P].

王传龙 .

中国专利 :CN108007367A ,2018-05-08

[8]

一种椭圆偏振测厚仪 [P].

王传龙 .

中国专利 :CN207703162U ,2018-08-07

[9]

一种用于椭圆偏振仪的样品台 [P].

高文丽 ;

段会强 ;

王虎 ;

张坤 .

中国专利 :CN218329793U ,2023-01-17

[10]

椭圆偏振仪及估计膜厚度的方法 [P].

徐丰源 ;

杨棋铭 ;

许青翔 ;

陈其贤 .

中国专利 :CN110873553A ,2020-03-10

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