一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310611433.6

申请日：

2013-11-26

公开(公告)号：

CN104677835A

公开(公告)日：

2015-06-03

发明(设计)人：

刘涛崔高增李国光熊伟温朗枫

申请人：

申请人地址：

100191 北京市海淀区知春路27号量子芯座402室

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

G01J400 G01B1100

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

刘杰

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-05	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N 21/21 申请公布日:20150603
2015-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101615752349 IPC(主分类):G01N 21/21 专利申请号:2013106114336 申请日:20131126
2015-06-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677837A ,2015-06-03

[2]

一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统 [P].

刘涛 ;

崔高增 ;

李国光 ;

熊伟 ;

温朗枫 .

中国专利 :CN104677836A ,2015-06-03

[3]

一种椭圆偏振仪的校准方法 [P].

徐鹏 ;

刘涛 ;

王林梓 ;

刘健鹏 ;

李国光 .

中国专利 :CN102879337B ,2013-01-16

[4]

一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677838A ,2015-06-03

[5]

一种包含相位补偿器的椭圆偏振仪的校准方法 [P].

徐鹏 ;

王林梓 ;

刘涛 ;

刘健鹏 ;

李国光 .

中国专利 :CN102878940B ,2013-01-16

[6]

一种利用全穆勒矩阵椭圆偏振仪进行光学测量的方法 [P].

刘涛 ;

崔高增 ;

李国光 ;

熊伟 ;

温朗枫 .

中国专利 :CN104677834A ,2015-06-03

[7]

光学元件旋转类型的穆勒矩阵椭圆偏振仪及用于使用其测量样品的穆勒矩阵的方法 [P].

赵龙在 ;

诸葛园 ;

赵贤模 .

中国专利 :CN105492889B ,2016-04-13

[8]

一种椭圆偏振测厚仪 [P].

王传龙 .

中国专利 :CN108007367A ,2018-05-08

[9]

一种椭圆偏振测厚仪 [P].

王传龙 .

中国专利 :CN207703162U ,2018-08-07

[10]

一种椭圆偏振光谱仪的设计方法 [P].

陈良尧 ;

钱佑华 ;

冯星伟 ;

苏毅 .

中国专利 :CN1034883C ,1993-09-15

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