物体保持装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110085216.2

申请日：

2016-08-30

公开(公告)号：

CN112859396A

公开(公告)日：

2021-05-28

发明(设计)人：

八田澄夫白泽正裕木南贵之五十岚淑人

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G02F113

IPC分类号：

G03F720 H01L21683

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟;闫剑平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 1/13 申请日:20160830
2021-05-28	公开	公开

共 50 条

[1]

物体保持装置 [P].

根本武彦 .

中国专利 :CN102574488B ,2012-07-11

[2]

用于保持物体的保持装置 [P].

臼井宽和 .

中国专利 :CN101152721B ,2008-04-02

[3]

物体保持装置、曝光装置、物体移动方法及物体保持系统 [P].

坂田晃一 .

日本专利 :CN120345167A ,2025-07-18

[4]

物体保持装置[ja] [P].

日本专利 :JP6818660B2 ,2021-01-20

[5]

物体保持装置[ja] [P].

日本专利 :JP5645336B2 ,2014-12-24

[6]

物体保持装置及制造物体保持装置的方法 [P].

R·拉法尔 ;

S·阿成达 ;

M·菲利皮 ;

Y·卡拉第 ;

A·尼里森 ;

R·范德威克 ;

H·C·M·范多瑞梅伦 ;

W·威尔特斯 .

中国专利 :CN105103052A ,2015-11-25

[7]

用于保持诸如线材之类的物体的保持装置 [P].

本特·福斯贝里 .

中国专利 :CN102712029B ,2012-10-03

[8]

用于保持物体的包装集成装置 [P].

P-A·科特 ;

D·利穆赞 ;

D·莫林 ;

C·科拉斯 ;

R·阿弗雷·德·圣·罗马 .

:CN116368069B ,2024-04-09

[9]

物体保持装置及び露光装置[ja] [P].

日本专利 :JP7414102B2 ,2024-01-16

[10]

物体保持装置及び露光装置[ja] [P].

日本专利 :JP2022176233A ,2022-11-25

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