物体保持装置、曝光装置、物体移动方法及物体保持系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380084856.9

申请日：

2023-12-05

公开(公告)号：

CN120345167A

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

坂田晃一

申请人：

株式会社尼康

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H02K41/03

IPC分类号：

G03F7/20 H01L21/677

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

马立荣;闫剑平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H02K 41/03申请日:20231205
2025-07-18	公开	公开

共 50 条

[1]

物体保持装置、曝光装置、平板显示器之制造方法、元件制造方法、以及物体保持方法 [P].

青木保夫 .

中国专利 :CN109791369B ,2019-05-21

[2]

物体保持装置 [P].

八田澄夫 ;

白泽正裕 ;

木南贵之 ;

五十岚淑人 .

中国专利 :CN112859396A ,2021-05-28

[3]

物体保持装置 [P].

根本武彦 .

中国专利 :CN102574488B ,2012-07-11

[4]

物体保持装置及制造物体保持装置的方法 [P].

R·拉法尔 ;

S·阿成达 ;

M·菲利皮 ;

Y·卡拉第 ;

A·尼里森 ;

R·范德威克 ;

H·C·M·范多瑞梅伦 ;

W·威尔特斯 .

中国专利 :CN105103052A ,2015-11-25

[5]

物体保持装置[ja] [P].

日本专利 :JP6818660B2 ,2021-01-20

[6]

物体保持装置[ja] [P].

日本专利 :JP5645336B2 ,2014-12-24

[7]

用于保持物体的保持装置 [P].

臼井宽和 .

中国专利 :CN101152721B ,2008-04-02

[8]

物体保持装置、处理装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法以及物体保持方法 [P].

青木保夫 ;

吉田亮平 .

中国专利 :CN110383178A ,2019-10-25

[9]

物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法 [P].

青木保夫 ;

滨田智秀 ;

白数广 ;

户口学 .

中国专利 :CN105388710A ,2016-03-09

[10]

物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法 [P].

青木保夫 ;

滨田智秀 ;

白数广 ;

户口学 .

中国专利 :CN102483579B ,2012-05-30

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