无接触式无腊晶圆下片机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111193801.0

申请日：

2021-10-13

公开(公告)号：

CN113903693A

公开(公告)日：

2022-01-07

发明(设计)人：

李健乐张丰张淳李伦曹会倩王彦君孙晨光陈健华

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京鑫知翼知识产权代理事务所(普通合伙) 11984

代理人：

张云珠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20211013
2022-01-07	公开	公开

共 50 条

[1]

无接触式无腊晶圆下片机 [P].

李健乐 ;

张丰 ;

张淳 ;

李伦 ;

曹会倩 ;

王彦君 ;

孙晨光 ;

陈健华 .

中国专利 :CN216528796U ,2022-05-13

[2]

无接触式无腊晶圆下片机 [P].

李健乐 ;

张丰 ;

张淳 ;

李伦 ;

曹会倩 ;

王彦君 ;

孙晨光 ;

陈健华 .

中国专利 :CN113903693B ,2025-04-11

[3]

一种晶圆下片机 [P].

喻晏 .

中国专利 :CN222995370U ,2025-06-17

[4]

一种晶圆无接触转运装置 [P].

王荣辉 .

中国专利 :CN223308967U ,2025-09-05

[5]

一种晶圆无接触转运装置 [P].

王荣辉 .

中国专利 :CN119208222A ,2024-12-27

[6]

一种晶圆下片机 [P].

陈涛 ;

廖元辉 .

中国专利 :CN221947101U ,2024-11-01

[7]

一种无接触晶圆打标装置 [P].

连坤 ;

孙丙瑞 ;

王有贵 ;

李道玉 ;

郭辉辉 ;

刘龙玉 .

中国专利 :CN216413023U ,2022-04-29

[8]

一种无接触高效晶圆精确测量装置 [P].

许军 ;

高倩妹 ;

汪亮 .

中国专利 :CN115621188A ,2023-01-17

[9]

晶圆无尘取片装置 [P].

肖宇 .

中国专利 :CN114242642A ,2022-03-25

[10]

全自动晶圆片下片上蜡回流线 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN210223987U ,2020-03-31

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