一种用于硅片盒生产的清洗装置

被引：0

申请号：

CN202222181031.4

申请日：

2022-08-18

公开(公告)号：

CN218049385U

公开(公告)日：

2022-12-16

发明(设计)人：

张玉琳张晓成

申请人：

申请人地址：

350015 福建省福州市马尾区湖里路27号1#2-27K(自贸试验区内)

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B314 B08B1300 F26B2300

代理机构：

泉州丰硕知识产权代理事务所(普通合伙) 35249

代理人：

黄莹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于硅片的表面清洗装置 [P].

雷杰 ;

周炜 ;

王庆钱 ;

杨大谊 ;

周璁 .

中国专利 :CN214022332U ,2021-08-24

[2]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

王志腾 ;

黄婷婷 ;

古再丽努尔·麦麦提尼亚孜 ;

夏村村 ;

钟喜琳 .

中国专利 :CN217017714U ,2022-07-22

[3]

一种硅片盒清洗装置 [P].

李炜 ;

王看看 .

中国专利 :CN210386880U ,2020-04-24

[4]

一种用于硅片清洗的清洗装置 [P].

王晓飞 ;

李建刚 ;

王海君 .

中国专利 :CN206550073U ,2017-10-13

[5]

一种螺丝生产的清洗装置 [P].

秦继泉 .

中国专利 :CN213378227U ,2021-06-08

[6]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN211071105U ,2020-07-24

[7]

一种用于车辆零件生产的清洗装置 [P].

师后龙 ;

渠立军 ;

陈秀玲 .

中国专利 :CN222402579U ,2025-01-28

[8]

一种用于硅片的多重超声清洗装置 [P].

王春佳 .

中国专利 :CN207971157U ,2018-10-16

[9]

一种硅片生产清洗装置 [P].

陈帅 .

中国专利 :CN222326045U ,2025-01-10

[10]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206838660U ,2018-01-05

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