光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210059260.7

申请日：

2012-03-08

公开(公告)号：

CN102681339A

公开(公告)日：

2012-09-19

发明(设计)人：

铃木阳二赤井泰之

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

C08F248

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

张永新

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-07	授权	授权
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101577134395 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2012100592607 申请日:20120308
2012-09-19	公开	公开

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂制造用组合物的制造方法 [P].

铃木阳二 ;

赤井泰之 .

中国专利 :CN102681340A ,2012-09-19

[2]

光致抗蚀剂树脂组合物 [P].

金奉玘 ;

柳盛文 ;

朴圣模 ;

朴赞硕 .

中国专利 :CN100535746C ,2005-11-09

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

仓久敏 ;

鲛岛香织 ;

国本和彦 ;

P·内斯瓦德巴 ;

大和昌纪 .

中国专利 :CN102361896B ,2012-02-22

[4]

光致抗蚀剂组合物 [P].

仓久敏 ;

鲛岛香织 ;

国本和彦 ;

P·内斯瓦德巴 ;

大和昌纪 .

中国专利 :CN105175315A ,2015-12-23

[5]

光致抗蚀剂用溶剂以及采用它的狭缝涂敷用光致抗蚀剂组合物 [P].

拉尔夫·格罗滕穆勒 ;

沃尔夫冈·察恩 ;

高桥修一 .

中国专利 :CN101144979B ,2008-03-19

[6]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN102023483A ,2011-04-20

[7]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金升起 ;

边滋勋 ;

金炳郁 ;

金东敏 ;

李原荣 ;

诸葛银 ;

朴柱京 ;

朱相一 ;

咸先美 ;

李斗渊 ;

朴一圭 ;

郑起和 ;

金京浩 ;

洪宇成 .

中国专利 :CN102566270A ,2012-07-11

[8]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金子勇 ;

冈田伸治 ;

川口泰秀 ;

武部洋子 ;

儿玉俊一 .

中国专利 :CN1221861C ,2004-04-28

[9]

光致抗蚀剂组合物 [P].

朴贤旻 ;

林敏映 ;

李泰燮 .

中国专利 :CN110892325A ,2020-03-17

[10]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN102023484A ,2011-04-20

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