一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310018690.9

申请日：

2013-01-17

公开(公告)号：

CN103088301B

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

王文忠王志段东平

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村北二条1号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454 C23C1406 H01L31032

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

巩克栋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-08	公开	公开
2013-07-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101500122792 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013100186909 申请日:20130117
2018-03-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20130117 授权公告日:20150701 终止日期:20170117
2015-07-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种铜铟镓硒薄膜制备方法及铜铟镓硒薄膜 [P].

王文庆 .

中国专利 :CN106229362A ,2016-12-14

[2]

铜铟镓硒薄膜制备方法 [P].

杨春雷 ;

于冰 ;

程冠铭 ;

冯叶 ;

肖旭东 ;

顾光一 ;

鲍浪 ;

郭延璐 ;

徐苗苗 .

中国专利 :CN103343323A ,2013-10-09

[3]

铜铟镓硒薄膜的制造方法 [P].

周光廷 ;

黄明义 ;

吴一凡 ;

林汉涂 .

中国专利 :CN102157611B ,2011-08-17

[4]

铜铟镓硒薄膜的制备方法 [P].

熊治雨 ;

肖旭东 ;

杨春雷 .

中国专利 :CN103710668A ,2014-04-09

[5]

硒气压可控的铜铟镓硒薄膜硒化装置 [P].

褚君浩 ;

孙雷 ;

马建华 ;

姚娘娟 ;

江锦春 .

中国专利 :CN204680681U ,2015-09-30

[6]

铜铟镓硒薄膜电池制备方法 [P].

郭佳利 ;

张理 .

中国专利 :CN117334785A ,2024-01-02

[7]

射频裂解硒蒸气制作铜铟镓硒薄膜的方法 [P].

王赫 ;

乔在祥 ;

赵彦民 ;

赵岳 ;

申绪男 ;

杨亦桐 .

中国专利 :CN104716222A ,2015-06-17

[8]

铜铟镓硒薄膜电池的制备方法 [P].

马续航 ;

刘壮 ;

肖旭东 .

中国专利 :CN101980377B ,2011-02-23

[9]

一种利用铜铟镓硒合金溅射靶材生产铜铟镓硒薄膜的方法 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN103219419B ,2013-07-24

[10]

非真空铜铟镓硒薄膜密实方法 [P].

陈文仁 .

中国专利 :CN102039264A ,2011-05-04

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