硒气压可控的铜铟镓硒薄膜硒化装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520372503.1

申请日：

2015-06-02

公开(公告)号：

CN204680681U

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

褚君浩孙雷马建华姚娘娟江锦春

申请人：

申请人地址：

200083 上海市虹口区玉田路500号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2167 C01B1900

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

郭英

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硒气压可控的铜铟镓硒薄膜硒化装置 [P].

褚君浩 ;

孙雷 ;

马建华 ;

姚娘娟 ;

江锦春 .

中国专利 :CN104934502B ,2015-09-23

[2]

一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件 [P].

王文忠 ;

王志 ;

段东平 .

中国专利 :CN103088301B ,2013-05-08

[3]

一种铜铟镓硒薄膜制备方法及铜铟镓硒薄膜 [P].

王文庆 .

中国专利 :CN106229362A ,2016-12-14

[4]

铜铟镓硒薄膜制备方法 [P].

杨春雷 ;

于冰 ;

程冠铭 ;

冯叶 ;

肖旭东 ;

顾光一 ;

鲍浪 ;

郭延璐 ;

徐苗苗 .

中国专利 :CN103343323A ,2013-10-09

[5]

制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置 [P].

任宇航 .

中国专利 :CN202499904U ,2012-10-24

[6]

铜铟镓硒薄膜的制造方法 [P].

周光廷 ;

黄明义 ;

吴一凡 ;

林汉涂 .

中国专利 :CN102157611B ,2011-08-17

[7]

铜铟镓硒薄膜的制备方法 [P].

熊治雨 ;

肖旭东 ;

杨春雷 .

中国专利 :CN103710668A ,2014-04-09

[8]

射频裂解硒蒸气制作铜铟镓硒薄膜的方法 [P].

王赫 ;

乔在祥 ;

赵彦民 ;

赵岳 ;

申绪男 ;

杨亦桐 .

中国专利 :CN104716222A ,2015-06-17

[9]

铜铟镓硒薄膜电池制备方法 [P].

郭佳利 ;

张理 .

中国专利 :CN117334785A ,2024-01-02

[10]

铜铟镓硒薄膜电池的制备方法 [P].

马续航 ;

刘壮 ;

肖旭东 .

中国专利 :CN101980377B ,2011-02-23

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