制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220124624.0

申请日：

2012-03-29

公开(公告)号：

CN202499904U

公开(公告)日：

2012-10-24

发明(设计)人：

任宇航

申请人：

申请人地址：

311121 浙江省杭州市文一西路1500号科技创业中心3号楼

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C16448 C23C16452 C23C16455 C23C1630 H01L3118

代理机构：

北京市盛峰律师事务所 11337

代理人：

赵建刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-24	授权	授权
2022-04-15	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20120329 授权公告日:20121024

共 50 条

[1]

一种制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化工艺及装置 [P].

罗派峰 ;

任宇航 ;

黄治 .

中国专利 :CN102443779A ,2012-05-09

[2]

铜铟镓硒薄膜制备方法 [P].

杨春雷 ;

于冰 ;

程冠铭 ;

冯叶 ;

肖旭东 ;

顾光一 ;

鲍浪 ;

郭延璐 ;

徐苗苗 .

中国专利 :CN103343323A ,2013-10-09

[3]

一种铜铟镓硒薄膜制备方法及铜铟镓硒薄膜 [P].

王文庆 .

中国专利 :CN106229362A ,2016-12-14

[4]

基于硒等离子体制备铜铟镓硒薄膜及光伏薄膜电池的设备 [P].

何整风 ;

傅正文 .

中国专利 :CN101958360A ,2011-01-26

[5]

基于硒等离子体制备铜铟镓硒薄膜及光伏薄膜电池的方法 [P].

何整风 ;

傅正文 .

中国专利 :CN101956164B ,2011-01-26

[6]

硒气压可控的铜铟镓硒薄膜硒化装置 [P].

褚君浩 ;

孙雷 ;

马建华 ;

姚娘娟 ;

江锦春 .

中国专利 :CN204680681U ,2015-09-30

[7]

铜铟镓硒光吸收层的制备方法及铜铟镓硒薄膜太阳能电池 [P].

吕文博 ;

宋秋明 ;

李朝晖 ;

谭兴 ;

肖旭东 .

中国专利 :CN103474511B ,2013-12-25

[8]

一种贫铜富硒能带可控的铜铟镓硒薄膜及其制备方法 [P].

田志荣 ;

王晓强 ;

李明亚 ;

高文博 ;

吴蕾 .

中国专利 :CN117936646A ,2024-04-26

[9]

一种制备高效铜铟硒和铜铟镓硒薄膜太阳能电池的方法 [P].

辛颢 ;

江晶晶 ;

吴三平 ;

闫伟博 ;

余绍棠 .

中国专利 :CN108807145B ,2018-11-13

[10]

一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件 [P].

王文忠 ;

王志 ;

段东平 .

中国专利 :CN103088301B ,2013-05-08

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