一种用于碳化硅晶体偏角整形的装置及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201511011730.2
申请日
2015-12-30
公开(公告)号
CN105479280A
公开(公告)日
2016-04-13
发明(设计)人
陈辉 庄击勇 黄维 王乐星 卓世异 施尔畏
申请人
申请人地址
200050 上海市长宁区定西路1295号
IPC主分类号
B24B716
IPC分类号
B24B722 B24B4106
代理机构
上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261
代理人
曹芳玲;姚佳雯
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种用于碳化硅晶体偏角整形的装置 [P]. 
陈辉 ;
庄击勇 ;
黄维 ;
王乐星 ;
卓世异 ;
施尔畏 .
中国专利 :CN205237737U ,2016-05-18
[2]
一种用于碳化硅晶体偏角整形的装置 [P]. 
李有群 ;
贺贤汉 ;
陈辉 ;
殷雪苑 ;
吴寒 ;
顾雪龙 .
中国专利 :CN217493708U ,2022-09-27
[3]
碳化硅晶体的制造方法、碳化硅晶体及碳化硅晶体的制造装置 [P]. 
西口太郎 .
中国专利 :CN102471930A ,2012-05-23
[4]
一种制备碳化硅晶体的方法及碳化硅晶体 [P]. 
王明华 ;
曾志鹏 .
中国专利 :CN117385467A ,2024-01-12
[5]
一种碳化硅晶体的制备方法及碳化硅晶体 [P]. 
方政 ;
马远 ;
潘尧波 ;
薛卫明 .
中国专利 :CN120485956A ,2025-08-15
[6]
一种制备碳化硅晶体的方法及碳化硅晶体 [P]. 
王明华 ;
曾志鹏 .
中国专利 :CN117385467B ,2024-02-13
[7]
碳化硅晶体生长装置、方法及碳化硅晶体 [P]. 
林育仪 ;
廖建成 ;
陈增强 ;
余明轩 .
中国专利 :CN116695238B ,2024-03-22
[8]
碳化硅晶体生长装置、方法及碳化硅晶体 [P]. 
刘曦 .
中国专利 :CN116815320B ,2024-01-12
[9]
一种制造碳化硅晶体的装置及制造碳化硅晶体的方法 [P]. 
郭超 ;
母凤文 .
中国专利 :CN114481317A ,2022-05-13
[10]
一种碳化硅晶体的籽晶及碳化硅晶体的制造方法 [P]. 
潘尧波 ;
薛卫明 ;
马远 .
中国专利 :CN111809238A ,2020-10-23