衬底处理装置用顶壁加热器

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201730070912.0

申请日：

2017-03-13

公开(公告)号：

CN304250429S

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

小杉哲也山口天和西堂周平

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

2303

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟;刘伟志

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-21	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移主分类号:23-03 登记生效日:20181203 变更事项:专利权人变更前权利人:株式会社日立国际电气变更后权利人:株式会社国际电气变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都
2017-08-18	授权	授权

共 50 条

[1]

衬底处理装置用加热器 [P].

小杉哲也 ;

山口天和 ;

西堂周平 .

中国专利 :CN304266411S ,2017-09-01

[2]

衬底处理装置、加热器、存储介质及衬底处理方法 [P].

村田等 ;

八幡橘 ;

和田优一 ;

山口天和 ;

西堂周平 .

日本专利 :CN112768385B ,2024-11-29

[3]

衬底处理装置、加热器、存储介质及衬底处理方法 [P].

村田等 ;

八幡橘 ;

和田优一 ;

山口天和 ;

西堂周平 .

中国专利 :CN112768385A ,2021-05-07

[4]

基板处理装置用顶壁加热器的保持板 [P].

杉浦忍 ;

小杉哲也 ;

山口天和 .

中国专利 :CN305897696S ,2020-07-03

[5]

基板处理装置用顶壁加热器的保持板 [P].

杉浦忍 ;

小杉哲也 ;

山口天和 .

中国专利 :CN305897697S ,2020-07-03

[6]

衬底处理装置用旋转器 [P].

加贺谷彻 ;

嶋田宽哲 ;

阿部贤卓 .

中国专利 :CN302511074S ,2013-07-24

[7]

衬底处理装置用旋转器 [P].

加贺谷彻 ;

嶋田宽哲 ;

阿部贤卓 .

中国专利 :CN302527184S ,2013-08-07

[8]

衬底处理装置用旋转器 [P].

加贺谷彻 ;

嶋田宽哲 ;

阿部贤卓 .

中国专利 :CN302511073S ,2013-07-24

[9]

衬底处理装置用旋转器 [P].

加贺谷彻 ;

嶋田宽哲 ;

阿部贤卓 .

中国专利 :CN302511072S ,2013-07-24

[10]

衬底处理装置用气化器 [P].

立野秀人 ;

梅川纯史 ;

绀谷忠司 ;

奥野正久 ;

定田拓也 .

中国专利 :CN302742600S ,2014-02-19

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