一种纳米多层结构碳基薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810590511.1

申请日：

2018-06-09

公开(公告)号：

CN108611613B

公开(公告)日：

2018-10-02

发明(设计)人：

李红轩王伟奇吉利刘晓红周惠娣陈建敏

申请人：

申请人地址：

730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1402 C23C1416 C23C1406

代理机构：

兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201

代理人：

张英荷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-02	公开	公开
2018-10-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20180609
2020-02-11	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20200117 变更事项:申请人变更前权利人:中国科学院兰州化学物理研究所变更后权利人:中国科学院兰州化学物理研究所变更事项:地址变更前权利人:730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号变更后权利人:730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号变更事项:申请人变更后权利人:兰州中科凯路润滑与防护技术有限公司
2020-06-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种纳米结构碳基薄膜的制备方法 [P].

李长英 .

中国专利 :CN107904569A ,2018-04-13

[2]

一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜、其制备方法与应用 [P].

张广安 ;

曹学乾 ;

尚伦霖 ;

李东山 .

中国专利 :CN116855906B ,2025-12-12

[3]

采用闭合场-磁控溅射沉积技术制备碳基多层薄膜的方法 [P].

李红轩 ;

王伟奇 ;

吉利 ;

刘晓红 ;

周惠娣 ;

陈建敏 .

中国专利 :CN109972082A ,2019-07-05

[4]

碳基薄膜及其制备方法 [P].

汪爱英 ;

郭有志 ;

孙丽丽 ;

郭鹏 ;

张栋 ;

柯培玲 .

中国专利 :CN108359954A ,2018-08-03

[5]

一种增强钛合金与碳基薄膜结合强度的纳米多层过渡层及其制备方法 [P].

郑军 ;

王广飞 ;

刘兴光 ;

张林 ;

丁继成 .

中国专利 :CN118563256A ,2024-08-30

[6]

一种碳基薄膜内不同碳纳米结构的调控设计方法 [P].

张俊彦 ;

王永富 ;

高凯雄 ;

王彦 .

中国专利 :CN108220909B ,2018-06-29

[7]

一种宽温域纳米复合结构碳基自润滑薄膜及其制备方法 [P].

李泽清 ;

何卫锋 ;

张虹虹 ;

聂祥樊 ;

张广安 ;

李应红 .

中国专利 :CN111041442A ,2020-04-21

[8]

一种碳基复合薄膜及其制备方法 [P].

何东青 ;

李文生 ;

尚伦霖 ;

张广安 ;

翟海民 ;

张辛健 .

中国专利 :CN111074226B ,2020-04-28

[9]

碳基薄膜、碳基薄膜的制备方法、刀具及应用 [P].

林海天 ;

李立升 ;

代伟 ;

王启民 .

中国专利 :CN111945119B ,2020-11-17

[10]

一种彩色碳基薄膜的制备方法和设备 [P].

刘阳 .

中国专利 :CN1955335A ,2007-05-02

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