AZO镀膜线基片承载车

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120452307.7

申请日：

2011-11-15

公开(公告)号：

CN202323001U

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

徐峰孙树来张彦清王建军张学星牛星月李占涛李东岳

申请人：

申请人地址：

067400 河北省承德市双滦区双塔山元宝山大街24号

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1406

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

宋松

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-11	授权	授权
2016-01-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101640723985 IPC(主分类):C23C 14/50 专利号:ZL2011204523077 申请日:20111115 授权公告日:20120711 终止日期:20141115

共 50 条

[1]

基片承载车输送线 [P].

徐峰 ;

孙树来 ;

张彦清 ;

王建军 ;

张学星 ;

牛星月 ;

李占涛 ;

李东岳 .

中国专利 :CN202321640U ,2012-07-11

[2]

镀膜基片车更换装置 [P].

陈进 ;

高坤旭 ;

李文铭 ;

潘明明 ;

徐国平 .

中国专利 :CN211496010U ,2020-09-15

[3]

镀膜基片架 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

张永祺 ;

张永胜 ;

王应斌 ;

龚文志 .

中国专利 :CN203741408U ,2014-07-30

[4]

基片承载器 [P].

马塞尔·莱昂哈特 ;

弗兰克·艾伦斯坦 ;

卡斯滕·凯塞尔 ;

海科·梅里奇 ;

赫尔曼-约瑟夫·诺南马赫 ;

埃里克·安索奇 ;

马雷克·舍恩菲尔德 .

中国专利 :CN215911401U ,2022-02-25

[5]

AZO镀膜生产线的自动回转台 [P].

徐峰 ;

孙树来 ;

张彦清 ;

王建军 ;

张学星 ;

牛星月 ;

李占涛 ;

李东岳 .

中国专利 :CN202323005U ,2012-07-11

[6]

一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置 [P].

沈江民 .

中国专利 :CN213739655U ,2021-07-20

[7]

基片架镀膜装置 [P].

许生 ;

庄炳河 .

中国专利 :CN200981891Y ,2007-11-28

[8]

基片镀膜处理设备 [P].

杨明生 ;

王曼媛 ;

范继良 ;

刘惠森 ;

王勇 .

中国专利 :CN202022972U ,2011-11-02

[9]

立式平板真空镀膜基片夹具 [P].

赵斌 .

中国专利 :CN205974270U ,2017-02-22

[10]

大面积AZO玻璃镀膜生产线 [P].

黄乐 ;

祝海生 ;

陈立 ;

凌云 ;

黄夏 ;

孙桂红 ;

黄国兴 .

中国专利 :CN109912229A ,2019-06-21

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