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一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022460348.2
申请日：
2020-10-29
公开(公告)号：
CN213739655U
公开(公告)日：
2021-07-20
发明(设计)人：
沈江民
申请人：
申请人地址：
471942 河南省洛阳市伊滨区佃庄镇大郎庙村
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
C23C1435
代理机构：
郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173
代理人：
李慧敏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-20 | 授权 | 授权 |