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一种新型的磁控溅射镀膜基片夹具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220014668.8
申请日：
2012-01-13
公开(公告)号：
CN202430282U
公开(公告)日：
2012-09-12
发明(设计)人：
陈宇
周志文
李民英
申请人：
申请人地址：
广东省东莞市塘厦镇田心工业区
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
C23C1435
代理机构：
北京连城创新知识产权代理有限公司 11254
代理人：
刘伍堂
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-03-16 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101650480909 IPC(主分类):C23C 14/50 专利号:ZL2012200146688 申请日:20120113 授权公告日:20120912 终止日期:20150113 |
| 2012-09-12 | 授权 | 授权 |