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一种用于磁控溅射镀膜的基片台

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810643700.0
申请日：
2018-06-21
公开(公告)号：
CN108611615B
公开(公告)日：
2018-10-02
发明(设计)人：
佘鹏程 龚俊 彭立波 罗超 范江华
申请人：
申请人地址：
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
C23C1450
代理机构：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008
代理人：
周长清;徐好
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-10-02 公开 公开
2020-05-15 授权 授权
2018-10-30 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20180621
共 50 条
[1]
一种新型的磁控溅射镀膜基片夹具 [P]. 
杨武 ;
杨志 .
中国专利 :CN214142518U ,2021-09-07
[2]
一种新型的磁控溅射镀膜基片夹具 [P]. 
陈宇 ;
周志文 ;
李民英 .
中国专利 :CN202430282U ,2012-09-12
[3]
一种基片磁控溅射镀膜生产设备 [P]. 
刘海东 ;
杨雨 .
中国专利 :CN120249912A ,2025-07-04
[4]
一种基片磁控溅射镀膜生产设备 [P]. 
刘海东 ;
杨雨 .
中国专利 :CN120249912B ,2025-11-21
[5]
一种基片磁控溅射镀膜生产设备 [P]. 
刘海东 ;
杨雨 .
中国专利 :CN120888885B ,2025-11-28
[6]
一种基片磁控溅射镀膜生产设备 [P]. 
刘海东 ;
杨雨 .
中国专利 :CN120888885A ,2025-11-04
[7]
一种用于磁控溅射镀膜设备的基片加热装置 [P]. 
何秋福 ;
黄也 ;
龚俊 ;
于超文 ;
孔令通 ;
陈佐明 .
中国专利 :CN120041801A ,2025-05-27
[8]
一种磁控溅射镀膜工件台 [P]. 
陈庆广 ;
陈特超 ;
佘鹏程 ;
毛朝斌 .
中国专利 :CN105112879A ,2015-12-02
[9]
一种磁控溅射镀膜设备 [P]. 
张冲 .
中国专利 :CN210856323U ,2020-06-26
[10]
一种磁控溅射镀膜工装 [P]. 
尹善攀 ;
章槐军 ;
潘道良 ;
庄致远 ;
林法盼 .
中国专利 :CN115948717B ,2025-10-28
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