一种磁控溅射镀膜衬底固定夹具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420852384.5

申请日：

2014-12-24

公开(公告)号：

CN204690097U

公开(公告)日：

2015-10-07

发明(设计)人：

李晓东

申请人：

申请人地址：

215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰科创园E栋张家港恩达通讯科技有限公司

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1435

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种磁控溅射镀膜衬底固定夹具 [P].

李晓东 .

中国专利 :CN104561921A ,2015-04-29

[2]

磁控溅射仪衬底固定夹具 [P].

王鹏 ;

陈诺夫 ;

尹志岗 ;

杨霏 .

中国专利 :CN1955334A ,2007-05-02

[3]

一种用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具 [P].

郑敏利 ;

徐梦里 ;

高思远 ;

苏天宇 ;

赵东旭 ;

张全建 .

中国专利 :CN216514098U ,2022-05-13

[4]

磁控溅射机镀膜夹具 [P].

林新锋 .

中国专利 :CN221028654U ,2024-05-28

[5]

一种磁控溅射镀膜设备 [P].

张振健 ;

陈显锋 .

中国专利 :CN208995591U ,2019-06-18

[6]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

张振健 ;

陈显锋 .

中国专利 :CN207685339U ,2018-08-03

[7]

一种磁控溅射镀膜机用基体固定夹具 [P].

范赟棋 .

中国专利 :CN215713340U ,2022-02-01

[8]

一种磁控溅射镀膜机用基体固定夹具 [P].

于庆河 ;

王维静 ;

米菁 ;

郝雷 ;

李世杰 ;

李帅 ;

杜淼 ;

王吉宁 .

中国专利 :CN211595786U ,2020-09-29

[9]

一种磁控溅射立式镀膜夹具 [P].

王鹏 ;

陈曦 ;

李春月 ;

邵维 ;

付天光 ;

宋立成 ;

李伟 ;

王晓秋 ;

李红亮 ;

于威 ;

高红 ;

李增玉 ;

刘佳音 ;

朱林海 ;

马和朋 .

中国专利 :CN204825043U ,2015-12-02

[10]

磁控溅射镀膜治具清洗夹具 [P].

李辉 ;

陆旺 ;

宋嵩 .

中国专利 :CN210614600U ,2020-05-26

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