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一种磁控溅射镀膜机用基体固定夹具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122055975.2
申请日：
2021-08-30
公开(公告)号：
CN215713340U
公开(公告)日：
2022-02-01
发明(设计)人：
范赟棋
申请人：
申请人地址：
239000 安徽省滁州市中新苏滁高新技术产业开发区泉州路100号四期工业坊1号厂房
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
C23C1435
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-01 | 授权 | 授权 |