一种磁控溅射镀膜机用基体固定夹具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922426272.9

申请日：

2019-12-27

公开(公告)号：

CN211595786U

公开(公告)日：

2020-09-29

发明(设计)人：

于庆河王维静米菁郝雷李世杰李帅杜淼王吉宁

申请人：

申请人地址：

101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100

代理人：

刘秀青

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种磁控溅射镀膜机用基体固定夹具 [P].

范赟棋 .

中国专利 :CN215713340U ,2022-02-01

[2]

磁控溅射镀膜机 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

张亮 ;

李永杰 .

中国专利 :CN209537612U ,2019-10-25

[3]

磁控溅射镀膜机 [P].

崔娜 ;

朱辉 ;

闫丽娜 ;

张卫 ;

康林杰 ;

郄奕 .

中国专利 :CN205258594U ,2016-05-25

[4]

一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具 [P].

贾鸿儒 ;

秦宏喜 ;

周艳军 ;

胡爽 .

中国专利 :CN223705712U ,2025-12-23

[5]

一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具 [P].

何清 ;

郭琪 ;

曹作川 .

中国专利 :CN215887217U ,2022-02-22

[6]

磁控溅射镀膜机的磁控溅射靶 [P].

赵铭 .

中国专利 :CN202658220U ,2013-01-09

[7]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

王福贞 .

中国专利 :CN206956141U ,2018-02-02

[8]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

刘洪良 ;

刘洪国 ;

王树立 ;

杨凯 .

中国专利 :CN201695080U ,2011-01-05

[9]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

李春 .

中国专利 :CN220767146U ,2024-04-12

[10]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

俞科 ;

郭廷玮 .

中国专利 :CN208395262U ,2019-01-18

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