磁控溅射仪衬底固定夹具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510086729.6

申请日：

2005-10-27

公开(公告)号：

CN1955334A

公开(公告)日：

2007-05-02

发明(设计)人：

王鹏陈诺夫尹志岗杨霏

申请人：

申请人地址：

100083北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

段成云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-05-02	公开	公开
2009-06-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

一种磁控溅射镀膜衬底固定夹具 [P].

李晓东 .

中国专利 :CN204690097U ,2015-10-07

[2]

一种磁控溅射镀膜衬底固定夹具 [P].

李晓东 .

中国专利 :CN104561921A ,2015-04-29

[3]

一种用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具 [P].

郑敏利 ;

徐梦里 ;

高思远 ;

苏天宇 ;

赵东旭 ;

张全建 .

中国专利 :CN216514098U ,2022-05-13

[4]

一种磁控溅射镀膜机用基体固定夹具 [P].

范赟棋 .

中国专利 :CN215713340U ,2022-02-01

[5]

一种磁控溅射镀膜机用基体固定夹具 [P].

于庆河 ;

王维静 ;

米菁 ;

郝雷 ;

李世杰 ;

李帅 ;

杜淼 ;

王吉宁 .

中国专利 :CN211595786U ,2020-09-29

[6]

衬底样品固定夹具 [P].

张海 ;

李新新 ;

刘旭东 ;

牛鼎元 ;

赵学平 .

中国专利 :CN223087898U ,2025-07-11

[7]

一种衬底固定夹具 [P].

巩锋 ;

王春生 ;

王经纬 ;

赵会崧 .

中国专利 :CN203871310U ,2014-10-08

[8]

一种磁控溅射镀膜机用的基片固定夹具及使用方法 [P].

王爱琴 ;

梁婷婷 ;

刘帅洋 ;

田捍卫 ;

杨康 ;

赵海丽 ;

谢敬佩 ;

王文焱 ;

李继文 .

中国专利 :CN106282951A ,2017-01-04

[9]

一种磁控溅射设备用样品固定辅助工装 [P].

宋学颖 ;

白国人 ;

林海鹏 ;

陈帅 ;

陈景春 ;

王磊 ;

曲迪 .

中国专利 :CN213680870U ,2021-07-13

[10]

磁片固定夹具 [P].

茅柳强 .

中国专利 :CN202846731U ,2013-04-03

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