一种磁控溅射镀膜机用的基片固定夹具及使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610758336.3

申请日：

2016-08-30

公开(公告)号：

CN106282951A

公开(公告)日：

2017-01-04

发明(设计)人：

王爱琴梁婷婷刘帅洋田捍卫杨康赵海丽谢敬佩王文焱李继文

申请人：

申请人地址：

471000 河南省洛阳市涧西区西苑路48号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1450

代理机构：

洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120

代理人：

宋晨炜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-04	公开	公开
2018-07-06	授权	授权
2017-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101700807543 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2016107583363 申请日:20160830

共 50 条

[1]

一种磁控溅射镀膜机用基体固定夹具 [P].

于庆河 ;

王维静 ;

米菁 ;

郝雷 ;

李世杰 ;

李帅 ;

杜淼 ;

王吉宁 .

中国专利 :CN211595786U ,2020-09-29

[2]

一种磁控溅射镀膜机用基体固定夹具 [P].

范赟棋 .

中国专利 :CN215713340U ,2022-02-01

[3]

一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具 [P].

贾鸿儒 ;

秦宏喜 ;

周艳军 ;

胡爽 .

中国专利 :CN223705712U ,2025-12-23

[4]

一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具 [P].

何清 ;

郭琪 ;

曹作川 .

中国专利 :CN215887217U ,2022-02-22

[5]

用于磁控溅射镀膜机的隔断装置及磁控溅射镀膜机 [P].

唐莲 ;

金诚明 ;

祝海生 ;

孙桂红 ;

黄乐 ;

黄国兴 .

中国专利 :CN213507173U ,2021-06-22

[6]

磁控溅射镀膜机的磁控溅射靶 [P].

赵铭 .

中国专利 :CN102703872A ,2012-10-03

[7]

磁控溅射镀膜机的磁控溅射靶 [P].

赵铭 .

中国专利 :CN202658220U ,2013-01-09

[8]

一种磁控溅射镀膜机的磁控溅射靶 [P].

赵铭 .

中国专利 :CN202658221U ,2013-01-09

[9]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

王福贞 .

中国专利 :CN206956141U ,2018-02-02

[10]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

刘洪良 ;

刘洪国 ;

王树立 ;

杨凯 .

中国专利 :CN201695080U ,2011-01-05

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