一种衬底固定夹具

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专利类型
实用新型
申请号
CN201420086513.4
申请日
2014-02-27
公开(公告)号
CN203871310U
公开(公告)日
2014-10-08
发明(设计)人
巩锋 王春生 王经纬 赵会崧
申请人
申请人地址
100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号
IPC主分类号
H01L21687
IPC分类号
代理机构
工业和信息化部电子专利中心 11010
代理人
张蕾
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
衬底样品固定夹具 [P]. 
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[2]
一种磁控溅射镀膜衬底固定夹具 [P]. 
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[9]
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[10]
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