一种脉冲离子源镀膜引出装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110446190.X

申请日：

2021-04-25

公开(公告)号：

CN113186504B

公开(公告)日：

2021-07-30

发明(设计)人：

郭春刚程国安郑瑞廷

申请人：

申请人地址：

100875 北京市海淀区新街口外大街19号

IPC主分类号：

C23C1446

IPC分类号：

代理机构：

北京佳信天和知识产权代理事务所(普通合伙) 11939

代理人：

田英楠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-26	授权	授权
2021-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/46 申请日:20210425
2021-07-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种脉冲离子源镀膜引出装置 [P].

郭春刚 ;

程国安 ;

郑瑞廷 .

中国专利 :CN214694353U ,2021-11-12

[2]

一种离子源引出装置 [P].

何坚 .

中国专利 :CN201655740U ,2010-11-24

[3]

一种离子源以及镀膜装置 [P].

赵鑫 .

中国专利 :CN208362457U ,2019-01-11

[4]

一种离子源、镀膜装置以及镀膜方法 [P].

赵鑫 .

中国专利 :CN109576665B ,2024-05-03

[5]

一种离子源、镀膜装置以及镀膜方法 [P].

赵鑫 .

中国专利 :CN109576665A ,2019-04-05

[6]

低能脉冲离子源 [P].

胡婕 ;

吴春晓 ;

田善喜 .

中国专利 :CN120319645A ,2025-07-15

[7]

一种新型的离子源引出-加速结构 [P].

廖斌 ;

欧阳晓平 ;

张旭 ;

张丰收 ;

吴先映 ;

罗军 ;

庞盼 .

中国专利 :CN107248490B ,2017-10-13

[8]

一种脉冲式离子源及质谱仪 [P].

龙涛 ;

包泽民 ;

王培智 ;

曾小辉 ;

张玉海 ;

刘敦一 .

中国专利 :CN203481184U ,2014-03-12

[9]

一种离子源装置 [P].

纪海涛 .

中国专利 :CN218123008U ,2022-12-23

[10]

X方向可调节的离子源引出装置 [P].

龙会跃 ;

郭建辉 ;

易文杰 ;

许波涛 ;

彭立波 ;

唐景庭 .

中国专利 :CN2788345Y ,2006-06-14

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