镀膜系统及镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710365616.2

申请日：

2017-05-22

公开(公告)号：

CN107287575A

公开(公告)日：

2017-10-24

发明(设计)人：

茆胜

申请人：

申请人地址：

广东省深圳市福田区彩田路7018号新浩e都44楼

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

C23C1652

代理机构：

深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314

代理人：

冯小梅;刘洁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-24	公开	公开
2017-11-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/54 申请日:20170522
2022-05-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/54 申请公布日:20171024

共 50 条

[1]

镀膜系统及镀膜方法 [P].

张岳 ;

徐正伟 ;

张金刚 .

中国专利 :CN121161263A ,2025-12-19

[2]

镀膜方法及镀膜系统 [P].

母凤文 ;

冯策 ;

郭超 ;

谭向虎 ;

刘福超 .

中国专利 :CN120776252A ,2025-10-14

[3]

ALD镀膜系统及镀膜方法 [P].

张岳 ;

徐正伟 ;

张金刚 .

中国专利 :CN120519830B ,2025-09-19

[4]

ALD镀膜系统及镀膜方法 [P].

张岳 ;

徐正伟 ;

张金刚 .

中国专利 :CN120519830A ,2025-08-22

[5]

镀膜玻璃、制备该镀膜玻璃的镀膜系统及镀膜方法 [P].

唐杰 ;

黎武兵 .

中国专利 :CN101302079A ,2008-11-12

[6]

一种镀膜系统及镀膜方法 [P].

产桂方 .

中国专利 :CN111321387A ,2020-06-23

[7]

镀膜托盘及镀膜系统 [P].

郭爱云 ;

汪友林 ;

王君 .

中国专利 :CN208844188U ,2019-05-10

[8]

镀膜装置及镀膜系统 [P].

翁勇新 ;

张万财 .

中国专利 :CN216141612U ,2022-03-29

[9]

镀膜喷头及镀膜系统 [P].

吕永贺 .

中国专利 :CN207958480U ,2018-10-12

[10]

镀膜装置及镀膜系统 [P].

戴丰源 ;

刘日成 ;

叶鸿链 ;

李汉隆 ;

曾顺吉 ;

马宏俊 .

中国专利 :CN105648427A ,2016-06-08

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