镀膜方法及镀膜系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510965016.4

申请日：

2025-07-14

公开(公告)号：

CN120776252A

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

母凤文冯策郭超谭向虎刘福超

申请人：

天津中科晶禾电子科技有限责任公司

申请人地址：

300451 天津市滨海新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

郭鑫雷

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	公开	公开
2025-10-31	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250714
2025-11-28	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):C23C 14/35申请公布日:20251014

共 50 条

[1]

镀膜系统及镀膜方法 [P].

茆胜 .

中国专利 :CN107287575A ,2017-10-24

[2]

镀膜系统及镀膜方法 [P].

张岳 ;

徐正伟 ;

张金刚 .

中国专利 :CN121161263A ,2025-12-19

[3]

ALD镀膜系统及镀膜方法 [P].

张岳 ;

徐正伟 ;

张金刚 .

中国专利 :CN120519830B ,2025-09-19

[4]

ALD镀膜系统及镀膜方法 [P].

张岳 ;

徐正伟 ;

张金刚 .

中国专利 :CN120519830A ,2025-08-22

[5]

镀膜玻璃、制备该镀膜玻璃的镀膜系统及镀膜方法 [P].

唐杰 ;

黎武兵 .

中国专利 :CN101302079A ,2008-11-12

[6]

一种镀膜均匀的镀膜系统、镀膜方法 [P].

黄永刚 ;

席晓晶 ;

邹春毅 ;

王小兵 ;

李明亮 ;

王云飞 ;

王旭东 ;

李沛宏 ;

曹兰 ;

张梅玉 .

中国专利 :CN118147583A ,2024-06-07

[7]

镀膜设备及镀膜方法 [P].

苏超颖 ;

陈麒麟 ;

满小花 .

中国专利 :CN120758855A ,2025-10-10

[8]

镀膜装置及镀膜方法 [P].

冯森 ;

陈新春 ;

陆智俊 .

中国专利 :CN117089806B ,2025-10-10

[9]

一种镀膜系统及镀膜方法 [P].

产桂方 .

中国专利 :CN111321387A ,2020-06-23

[10]

镀膜治具、镀膜装置及镀膜方法 [P].

张续朋 ;

刘宏亮 ;

杨彦伟 .

中国专利 :CN112593200A ,2021-04-02

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