一种平面光栅干涉仪位移测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711116154.7

申请日：

2017-11-13

公开(公告)号：

CN107860318A

公开(公告)日：

2018-03-30

发明(设计)人：

张鸣朱煜王磊杰夏野成荣叶伟楠倪畅丁思齐贾喆胡金春

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

G01B902 G01D526 G01D538

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G01B 11/02 变更事项:发明人变更前:张鸣朱煜王磊杰夏野成荣叶伟楠倪畅丁思齐贾喆胡金春变更后:张鸣朱煜王磊杰夏野成荣叶伟楠倪畅丁思奇贾喆胡金春
2018-04-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20171113
2018-03-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种平面光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

夏野 ;

成荣 ;

叶伟楠 ;

杨开明 ;

倪畅 ;

丁思齐 ;

贾喆 ;

李情情 ;

王雨竹 .

中国专利 :CN108106536A ,2018-06-01

[2]

一种平面光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

夏野 ;

成荣 ;

叶伟楠 ;

倪畅 ;

丁思齐 ;

贾喆 ;

胡金春 .

中国专利 :CN207487600U ,2018-06-12

[3]

一种平面光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

夏野 ;

成荣 ;

叶伟楠 ;

杨开明 ;

倪畅 ;

丁思齐 ;

贾喆 ;

李情情 ;

王雨竹 .

中国专利 :CN207487599U ,2018-06-12

[4]

一种外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

胡金春 ;

陈龙敏 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

穆海华 .

中国专利 :CN102944176A ,2013-02-27

[5]

一种双频光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

王磊杰 ;

胡金春 ;

陈龙敏 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

穆海华 .

中国专利 :CN102937411B ,2013-02-20

[6]

光栅干涉仪及位移测量系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118640801A ,2024-09-13

[7]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

杨开明 ;

刘召 ;

成荣 ;

刘昊 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

田丽 ;

张金 ;

胡金春 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

秦慧超 .

中国专利 :CN103307986A ,2013-09-18

[8]

一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

刘召 ;

成荣 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

秦慧超 ;

田丽 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103322927B ,2016-04-20

[9]

分光元件、光栅干涉仪及位移测量系统 [P].

高立冬 ;

高磊 ;

崔琪 .

中国专利 :CN118936303A ,2024-11-12

[10]

读数头、光栅干涉仪及位移测量系统 [P].

高磊 ;

高立冬 ;

孙展 .

中国专利 :CN118936301A ,2024-11-12

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