一种平面光栅干涉仪位移测量系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721512274.4

申请日：

2017-11-13

公开(公告)号：

CN207487599U

公开(公告)日：

2018-06-12

发明(设计)人：

朱煜王磊杰张鸣夏野成荣叶伟楠杨开明倪畅丁思齐贾喆李情情王雨竹

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

G01B902 G01D526 G01D538

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-12	授权	授权
2020-10-30	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G01B 11/02 变更事项:发明人变更前:朱煜王磊杰张鸣夏野成荣叶伟楠杨开明倪畅丁思齐贾喆李情情王雨竹变更后:朱煜王磊杰张鸣夏野成荣叶伟楠杨开明倪畅丁思奇贾喆李情情王雨竹

共 50 条

[1]

一种平面光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

夏野 ;

成荣 ;

叶伟楠 ;

杨开明 ;

倪畅 ;

丁思齐 ;

贾喆 ;

李情情 ;

王雨竹 .

中国专利 :CN108106536A ,2018-06-01

[2]

一种平面光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

夏野 ;

成荣 ;

叶伟楠 ;

倪畅 ;

丁思齐 ;

贾喆 ;

胡金春 .

中国专利 :CN207487600U ,2018-06-12

[3]

一种平面光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

夏野 ;

成荣 ;

叶伟楠 ;

倪畅 ;

丁思齐 ;

贾喆 ;

胡金春 .

中国专利 :CN107860318A ,2018-03-30

[4]

一种外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

胡金春 ;

陈龙敏 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

穆海华 .

中国专利 :CN102944176A ,2013-02-27

[5]

一种双频光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

王磊杰 ;

胡金春 ;

陈龙敏 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

穆海华 .

中国专利 :CN102937411B ,2013-02-20

[6]

光栅干涉仪及位移测量系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118640801A ,2024-09-13

[7]

一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

杨开明 ;

刘召 ;

成荣 ;

刘昊 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

田丽 ;

张金 ;

胡金春 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

秦慧超 .

中国专利 :CN103307986A ,2013-09-18

[8]

一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

刘召 ;

成荣 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

叶伟楠 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

秦慧超 ;

田丽 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103322927B ,2016-04-20

[9]

分光元件、光栅干涉仪及位移测量系统 [P].

高立冬 ;

高磊 ;

崔琪 .

中国专利 :CN118936303A ,2024-11-12

[10]

读数头、光栅干涉仪及位移测量系统 [P].

高磊 ;

高立冬 ;

孙展 .

中国专利 :CN118936301A ,2024-11-12

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