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一种半导体真空设备用气密检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022595174.0
申请日：
2020-11-11
公开(公告)号：
CN213274708U
公开(公告)日：
2021-05-25
发明(设计)人：
冯小龙
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城区黄桥镇木巷村
IPC主分类号：
G01M302
IPC分类号：
G01B502
代理机构：
苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405
代理人：
周升铭
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-25 | 授权 | 授权 |