制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280046517.3

申请日：

2012-10-11

公开(公告)号：

CN103828027A

公开(公告)日：

2014-05-28

发明(设计)人：

佐佐木信

申请人：

申请人地址：

日本大阪府大阪市

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

C30B2936 C30B3300

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

王海川;穆德骏

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-09-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101738715490 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2012800465173 申请公布日:20140528
2014-05-28	公开	公开
2014-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583218423 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2012800465173 申请日:20121011

共 50 条

[1]

制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底 [P].

原田真 ;

佐佐木信 ;

西口太郎 ;

玉祖秀人 ;

并川靖生 .

中国专利 :CN102473594A ,2012-05-23

[2]

制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底 [P].

西口太郎 ;

增田健良 ;

佐佐木信 ;

原田真 ;

并川靖生 ;

藤原伸介 .

中国专利 :CN102449732A ,2012-05-09

[3]

制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底 [P].

原田真 ;

佐佐木信 ;

西口太郎 ;

玉祖秀人 ;

并川靖生 .

中国专利 :CN102449734A ,2012-05-09

[4]

碳化硅衬底、碳化硅锭以及制造碳化硅衬底和碳化硅锭的方法 [P].

佐佐木信 ;

西口太郎 .

中国专利 :CN103476975A ,2013-12-25

[5]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

中国专利 :CN114761628A ,2022-07-15

[6]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

日本专利 :CN114761628B ,2024-04-12

[7]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

本家翼 .

日本专利 :CN114026672B ,2025-03-11

[8]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

本家翼 .

中国专利 :CN114026672A ,2022-02-08

[9]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

中国专利 :CN114651091A ,2022-06-21

[10]

碳化硅衬底和制造碳化硅衬底的方法 [P].

佐佐木信 ;

增田健良 .

中国专利 :CN102171787A ,2011-08-31

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