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碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080042958.0
申请日：
2020-05-27
公开(公告)号：
CN114026672A
公开(公告)日：
2022-02-08
发明(设计)人：
本家翼
申请人：
申请人地址：
日本大阪府大阪市
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L21304
C30B2936
C30B3300
C30B3308
代理机构：
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人：
杨海荣;曲盛
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-08 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20200527 |