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碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080078036.5
申请日：
2020-11-12
公开(公告)号：
CN114651091B
公开(公告)日：
2024-04-19
发明(设计)人：
冲田恭子 本家翼 上田俊策
申请人：
住友电气工业株式会社
申请人地址：
日本大阪府大阪市
IPC主分类号：
C30B29/36
IPC分类号：
C30B25/20 H01L21/304
代理机构：
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人：
杨海荣;曲盛
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-04-19 授权 授权
共 50 条
[1]
碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P]. 
冲田恭子 ;
本家翼 ;
上田俊策 .
中国专利 :CN114651091A ,2022-06-21
[2]
碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P]. 
本家翼 .
日本专利 :CN114026672B ,2025-03-11
[3]
碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P]. 
本家翼 .
中国专利 :CN114026672A ,2022-02-08
[4]
碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P]. 
冲田恭子 ;
本家翼 ;
上田俊策 .
中国专利 :CN114761628A ,2022-07-15
[5]
碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P]. 
冲田恭子 ;
本家翼 ;
上田俊策 .
日本专利 :CN114761628B ,2024-04-12
[6]
制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底 [P]. 
原田真 ;
佐佐木信 ;
西口太郎 ;
玉祖秀人 ;
并川靖生 .
中国专利 :CN102473594A ,2012-05-23
[7]
碳化硅衬底和碳化硅外延衬底 [P]. 
本家翼 ;
冲田恭子 .
中国专利 :CN110651072A ,2020-01-03
[8]
制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底 [P]. 
佐佐木信 .
中国专利 :CN103828027A ,2014-05-28
[9]
制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底 [P]. 
西口太郎 ;
增田健良 ;
佐佐木信 ;
原田真 ;
并川靖生 ;
藤原伸介 .
中国专利 :CN102449732A ,2012-05-09
[10]
制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底 [P]. 
原田真 ;
佐佐木信 ;
西口太郎 ;
玉祖秀人 ;
并川靖生 .
中国专利 :CN102449734A ,2012-05-09
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