气浴发生器及光刻设备

被引：0

申请号：

CN202210952172.3

申请日：

2022-08-09

公开(公告)号：

CN115390365A

公开(公告)日：

2022-11-25

发明(设计)人：

王魁波吴晓斌罗艳沙鹏飞韩晓泉李慧谢婉露高梓翔

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

金秋亚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20220809
2022-11-25	公开	公开

共 50 条

[1]

气浴发生器及光刻设备 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

韩晓泉 ;

李慧 ;

谢婉露 ;

高梓翔 .

中国专利 :CN115390365B ,2025-04-01

[2]

光刻设备、气浴装置及其气浴发生器 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

韩晓泉 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

李慧 ;

孙家政 ;

谢婉露 ;

马赫 ;

谭芳蕊 .

中国专利 :CN114460814A ,2022-05-10

[3]

光刻设备、气浴装置及其气浴发生器 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

韩晓泉 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

李慧 ;

孙家政 ;

谢婉露 ;

马赫 ;

谭芳蕊 .

中国专利 :CN114460814B ,2024-04-02

[4]

气浴发生器、防污染装置及光刻设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121050186A ,2025-12-02

[5]

气浴模块、气浴装置、光刻设备及其控制方法 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

韩晓泉 ;

谢婉露 ;

李慧 ;

谭芳蕊 .

中国专利 :CN117631472A ,2024-03-01

[6]

光刻设备及其使用方法、气浴发生装置 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

韩晓泉 ;

王琪 ;

罗艳 ;

谢婉露 ;

沙鹏飞 .

中国专利 :CN119668048A ,2025-03-21

[7]

气浴装置及光刻设备 [P].

刘伟 .

中国专利 :CN112305866A ,2021-02-02

[8]

气浴腔结构、气浴装置及光刻设备 [P].

戴思雨 ;

赵建军 .

中国专利 :CN110658682A ,2020-01-07

[9]

浴泡发生器 [P].

邹剑寒 .

中国专利 :CN3457602D ,2005-06-29

[10]

用于光刻设备的液滴发生器、EUV源和光刻设备 [P].

J·F·迪杰克斯曼 ;

B·L·W·M·范德文 ;

K·G·温克尔斯 ;

T·W·德赖森 ;

G·O·瓦申科 ;

P·M·鲍姆加特 ;

W·H·T·M·安格南特 ;

J·O·纽文坎普 ;

W·R·坎平加 ;

J·劳特萨莱南 .

中国专利 :CN108496115A ,2018-09-04

← 1 2 3 4 5 →