光刻设备、气浴装置及其气浴发生器

被引：0

申请号：

CN202210068296.5

申请日：

2022-01-20

公开(公告)号：

CN114460814A

公开(公告)日：

2022-05-10

发明(设计)人：

王魁波吴晓斌韩晓泉罗艳沙鹏飞李慧孙家政谢婉露马赫谭芳蕊

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

张力

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20220120
2022-05-10	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻设备、气浴装置及其气浴发生器 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

韩晓泉 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

李慧 ;

孙家政 ;

谢婉露 ;

马赫 ;

谭芳蕊 .

中国专利 :CN114460814B ,2024-04-02

[2]

气浴发生器及光刻设备 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

韩晓泉 ;

李慧 ;

谢婉露 ;

高梓翔 .

中国专利 :CN115390365B ,2025-04-01

[3]

气浴发生器及光刻设备 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

韩晓泉 ;

李慧 ;

谢婉露 ;

高梓翔 .

中国专利 :CN115390365A ,2022-11-25

[4]

气浴发生器、防污染装置及光刻设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121050186A ,2025-12-02

[5]

气浴模块、气浴装置、光刻设备及其控制方法 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

韩晓泉 ;

谢婉露 ;

李慧 ;

谭芳蕊 .

中国专利 :CN117631472A ,2024-03-01

[6]

光刻设备及其使用方法、气浴发生装置 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

韩晓泉 ;

王琪 ;

罗艳 ;

谢婉露 ;

沙鹏飞 .

中国专利 :CN119668048A ,2025-03-21

[7]

气浴腔结构、气浴装置及光刻设备 [P].

戴思雨 ;

赵建军 .

中国专利 :CN110658682A ,2020-01-07

[8]

气浴装置及光刻设备 [P].

刘伟 .

中国专利 :CN112305866A ,2021-02-02

[9]

气浴装置、该气浴装置的制备方法以及光刻设备 [P].

杨志斌 ;

高玉英 ;

俞芸 ;

魏巍 .

中国专利 :CN109725494A ,2019-05-07

[10]

气浴装置及光刻机 [P].

程斌斌 ;

张洪博 ;

王伟伟 ;

赵建军 ;

颜小龙 .

中国专利 :CN115220306B ,2025-08-12

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