气浴装置、该气浴装置的制备方法以及光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711046779.0

申请日：

2017-10-31

公开(公告)号：

CN109725494A

公开(公告)日：

2019-05-07

发明(设计)人：

杨志斌高玉英俞芸魏巍

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-07	公开	公开
2022-01-14	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20190507
2019-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20171031

共 50 条

[1]

气浴模块、气浴装置、光刻设备及其控制方法 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

韩晓泉 ;

谢婉露 ;

李慧 ;

谭芳蕊 .

中国专利 :CN117631472A ,2024-03-01

[2]

气浴腔结构、气浴装置及光刻设备 [P].

戴思雨 ;

赵建军 .

中国专利 :CN110658682A ,2020-01-07

[3]

气浴装置及光刻设备 [P].

刘伟 .

中国专利 :CN112305866A ,2021-02-02

[4]

光刻设备、气浴装置及其气浴发生器 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

韩晓泉 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

李慧 ;

孙家政 ;

谢婉露 ;

马赫 ;

谭芳蕊 .

中国专利 :CN114460814A ,2022-05-10

[5]

光刻设备、气浴装置及其气浴发生器 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

韩晓泉 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

李慧 ;

孙家政 ;

谢婉露 ;

马赫 ;

谭芳蕊 .

中国专利 :CN114460814B ,2024-04-02

[6]

光刻设备及其使用方法、气浴发生装置 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

韩晓泉 ;

王琪 ;

罗艳 ;

谢婉露 ;

沙鹏飞 .

中国专利 :CN119668048A ,2025-03-21

[7]

气浴发生器及光刻设备 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

韩晓泉 ;

李慧 ;

谢婉露 ;

高梓翔 .

中国专利 :CN115390365B ,2025-04-01

[8]

气浴发生器及光刻设备 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

沙鹏飞 ;

韩晓泉 ;

李慧 ;

谢婉露 ;

高梓翔 .

中国专利 :CN115390365A ,2022-11-25

[9]

气浴发生器、防污染装置及光刻设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121050186A ,2025-12-02

[10]

用于光刻设备的真空释气装置 [P].

成荣 ;

朱煜 ;

杨开明 ;

张鸣 ;

刘相波 .

中国专利 :CN112485978A ,2021-03-12

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