硅片自动分选真空吸盘

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201420638401.5
申请日
2014-10-30
公开(公告)号
CN204144235U
公开(公告)日
2015-02-04
发明(设计)人
黄杰 石志学 曹宝红 李苏杰
申请人
申请人地址
071051 河北省保定市高开区复兴中路3055号
IPC主分类号
H01L21683
IPC分类号
代理机构
石家庄国为知识产权事务所 13120
代理人
陆林生
法律状态
授权
国省代码
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