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硅片真空吸盘的设计方法、硅片真空吸盘及光刻设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211352111.X
申请日：
2022-10-31
公开(公告)号：
CN117995740A
公开(公告)日：
2024-05-07
发明(设计)人：
吴飞
申请人：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张东路1525号
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
G03F7/20
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
杨亚茹
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20221031 |
| 2024-05-07 | 公开 | 公开 |
| 2025-09-23 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移IPC(主分类):H01L 21/683登记生效日:20250908变更事项:申请人变更前权利人:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更后权利人:上海芯上微装科技股份有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张东路1525号变更后权利人:201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区郭守敬路498号8幢19号楼3层 |