一种TSV硅片的真空吸盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210586865.1

申请日：

2012-12-28

公开(公告)号：

CN103904012B

公开(公告)日：

2014-07-02

发明(设计)人：

黄明郑教增胡松立王邵玉阮冬姜晓玉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-08	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101756821385 IPC(主分类):H01L 21/683 专利号:ZL2012105868651 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2014-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584082733 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2012105868651 申请日:20121228
2017-06-27	授权	授权
2014-07-02	公开	公开

共 50 条

[1]

硅片真空吸盘的设计方法、硅片真空吸盘及光刻设备 [P].

吴飞 .

中国专利 :CN117995740A ,2024-05-07

[2]

硅片吸附用真空吸盘 [P].

马盼 ;

饶安俊 ;

杨凌云 .

中国专利 :CN221686820U ,2024-09-10

[3]

硅片自动分选真空吸盘 [P].

黄杰 ;

石志学 ;

曹宝红 ;

李苏杰 .

中国专利 :CN204144235U ,2015-02-04

[4]

一种硅片真空吸盘夹持装置 [P].

万关良 .

中国专利 :CN215342545U ,2021-12-28

[5]

一种真空吸盘 [P].

胡孔佑 .

中国专利 :CN202758864U ,2013-02-27

[6]

一种真空吸盘 [P].

邱宇航 ;

周颖 ;

倪明明 ;

洪纪伦 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN207509130U ,2018-06-19

[7]

一种真空吸盘 [P].

李秉永 ;

吕明 ;

郭城 ;

魏继昊 .

中国专利 :CN201896027U ,2011-07-13

[8]

一种真空吸盘 [P].

林惠令 ;

林菁 .

中国专利 :CN204277764U ,2015-04-22

[9]

一种真空吸盘 [P].

金洙吉 ;

郭东明 ;

康仁科 ;

杨利军 ;

李忠信 ;

张士军 ;

李伟健 .

中国专利 :CN2746181Y ,2005-12-14

[10]

真空吸盘 [P].

石野智浩 ;

小野寺教夫 .

中国专利 :CN303716599S ,2016-06-22

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