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一种三甲基铝集中供应系统
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201721021210.4
申请日
:
2017-08-15
公开(公告)号
:
CN207230170U
公开(公告)日
:
2018-04-13
发明(设计)人
:
孙效义
薛元
吴海华
申请人
:
申请人地址
:
200241 上海市闵行区紫海路170号
IPC主分类号
:
F17D301
IPC分类号
:
代理机构
:
上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288
代理人
:
刘君
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2018-04-13
授权
授权
共 50 条
[1]
一种三甲基镓供应系统
[P].
张勇
论文数:
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机构:
江苏亿钶半导体设备有限公司
江苏亿钶半导体设备有限公司
张勇
;
冯焕鹏
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机构:
江苏亿钶半导体设备有限公司
江苏亿钶半导体设备有限公司
冯焕鹏
;
关浩
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机构:
江苏亿钶半导体设备有限公司
江苏亿钶半导体设备有限公司
关浩
;
何霖
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机构:
江苏亿钶半导体设备有限公司
江苏亿钶半导体设备有限公司
何霖
.
中国专利
:CN118615726A
,2024-09-10
[2]
一种三甲基铝结晶储罐
[P].
姜永要
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姜永要
;
代文博
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代文博
;
徐昕
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徐昕
.
中国专利
:CN218221143U
,2023-01-06
[3]
一种三甲基铝提纯蒸馏设备
[P].
刘任飞
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刘任飞
;
陆平
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陆平
.
中国专利
:CN216062084U
,2022-03-18
[4]
一种三甲基铝蒸发输送装置
[P].
孟庆典
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孟庆典
;
刘任飞
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刘任飞
.
中国专利
:CN216202552U
,2022-04-05
[5]
一种三甲基铝计量输送装置
[P].
邹开峰
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邹开峰
;
庄正军
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庄正军
;
谭兴波
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谭兴波
;
候岳明
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候岳明
;
上官泉元
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上官泉元
;
胡胜尧
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胡胜尧
.
中国专利
:CN207760427U
,2018-08-24
[6]
一种三甲基铝提纯设备
[P].
陆平
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陆平
;
孟庆典
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孟庆典
.
中国专利
:CN216573030U
,2022-05-24
[7]
高纯三甲基铝及粗三甲基铝的精制方法
[P].
津寺贵信
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津寺贵信
;
田中秀二
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田中秀二
;
岩井大祐
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岩井大祐
;
西脇宽实
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西脇宽实
;
本间孝之
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本间孝之
.
中国专利
:CN1749260A
,2006-03-22
[8]
用于制备三甲基铝的装置
[P].
罗雷纳·穆勒
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罗雷纳·穆勒
;
拉尔斯·古谷尔兹
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拉尔斯·古谷尔兹
;
马库斯·克劳特席
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马库斯·克劳特席
;
沃尔夫冈·谢菲勒
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沃尔夫冈·谢菲勒
.
中国专利
:CN209967703U
,2020-01-21
[9]
一种防止三甲基铝雾化废气废液堵塞管道系统
[P].
孙兆冉
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孙兆冉
.
中国专利
:CN213872214U
,2021-08-03
[10]
一种高纯三甲基铝纯化装置
[P].
赵趫
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赵趫
;
赵银凤
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赵银凤
;
焦中鹏
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焦中鹏
.
中国专利
:CN213913651U
,2021-08-10
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