一种三甲基镓供应系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410673331.5

申请日：

2024-05-28

公开(公告)号：

CN118615726A

公开(公告)日：

2024-09-10

发明(设计)人：

张勇冯焕鹏关浩何霖

申请人：

江苏亿钶半导体设备有限公司

申请人地址：

214200 江苏省无锡市宜兴市宜兴经济技术开发区永宁路创业园一期A5幢

IPC主分类号：

B01D1/00

IPC分类号：

B01D1/30 B01D53/82 H01L31/18

代理机构：

杭州九洲专利事务所有限公司 33101

代理人：

郭璇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B01D 1/00申请日:20240528
2024-09-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种三甲基铝集中供应系统 [P].

孙效义 ;

薛元 ;

吴海华 .

中国专利 :CN207230170U ,2018-04-13

[2]

三甲基镓尾气处理装置以及制备系统 [P].

吴伟 ;

谢贤清 ;

张志伟 ;

马玉峰 ;

江建峰 .

中国专利 :CN205035309U ,2016-02-17

[3]

三甲基镓生产方法及设备 [P].

王同文 .

中国专利 :CN1872861A ,2006-12-06

[4]

三甲基镓、其制造方法以及从该三甲基镓成长的氮化镓薄膜 [P].

松原政信 ;

岛田健 ;

西川直宏 ;

门田阳一 .

中国专利 :CN1763049A ,2006-04-26

[5]

三甲基镓的提纯方法 [P].

朱世会 ;

朱刘 ;

朱世明 ;

刘留 ;

屈一新 ;

任帅 .

中国专利 :CN102731541A ,2012-10-17

[6]

一种三甲基镓的制备方法 [P].

谢贤清 ;

廖维林 ;

邱曾烨 ;

陈飞彪 ;

马玉峰 ;

吴伟 .

中国专利 :CN105175438A ,2015-12-23

[7]

一种三甲基镓的制备方法 [P].

徐慧杰 ;

艾蓁 ;

赵亚伟 ;

秦曾言 ;

沈乐 ;

陈勇军 ;

岳辰曦 .

中国专利 :CN119638728A ,2025-03-18

[8]

一种三甲基镓的制备方法 [P].

魏巍 ;

周明奇 ;

胡玉叶 ;

王海军 ;

高川 ;

孙惠 ;

邹贵 ;

徐强 ;

宋超超 .

中国专利 :CN108976251A ,2018-12-11

[9]

一种三甲基镓的制备方法 [P].

宋福全 ;

卢志国 ;

闫冀东 .

中国专利 :CN102757454A ,2012-10-31

[10]

一种三甲基镓尾气处理装置 [P].

李浩杰 ;

王学涛 ;

李景辉 .

中国专利 :CN221559246U ,2024-08-20

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