一种高密度金属靶材制备系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922413467.X

申请日：

2019-12-27

公开(公告)号：

CN211645367U

公开(公告)日：

2020-10-09

发明(设计)人：

蔺裕平韩刚库

申请人：

申请人地址：

214437 江苏省无锡市江阴市高新区金山路201号

IPC主分类号：

C23C4134

IPC分类号：

C23C406 B08B1502

代理机构：

北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638

代理人：

王凯

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高密度金属靶材制备工艺 [P].

蔺裕平 ;

韩刚库 .

中国专利 :CN111004993A ,2020-04-14

[2]

一种低真空氛围靶材制备系统 [P].

蔺裕平 ;

韩刚库 .

中国专利 :CN213295474U ,2021-05-28

[3]

一种高密度靶材专用夹具 [P].

常代展 ;

杜亚飞 .

中国专利 :CN215147496U ,2021-12-14

[4]

高密度靶材包装装置 [P].

周贤界 ;

郑子涛 ;

许积文 ;

余永强 ;

苏中华 .

中国专利 :CN203173156U ,2013-09-04

[5]

高密度钼铌合金靶材的制备装置 [P].

黄平 ;

刘黔蜀 ;

吴恩辉 ;

李军 ;

侯静 ;

王革 .

中国专利 :CN209379918U ,2019-09-13

[6]

一种钴酸锂高密度旋转靶材 [P].

胡茂横 .

中国专利 :CN204417583U ,2015-06-24

[7]

一种金属靶材的制备系统 [P].

林志河 ;

陈钦忠 ;

陈锦烨 ;

汪家兵 .

中国专利 :CN110284111B ,2019-09-27

[8]

一种高密度梳状靶 [P].

胡旭 ;

朱红津 ;

王善付 .

中国专利 :CN218382861U ,2023-01-24

[9]

一种加镓的AZO高密度旋转靶材 [P].

胡茂横 ;

张剑华 .

中国专利 :CN206579222U ,2017-10-24

[10]

一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置 [P].

黄信二 .

中国专利 :CN207549022U ,2018-06-29

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