一种高密度金属靶材制备工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911377170.0

申请日：

2019-12-27

公开(公告)号：

CN111004993A

公开(公告)日：

2020-04-14

发明(设计)人：

蔺裕平韩刚库

申请人：

申请人地址：

214437 江苏省无锡市江阴市高新区金山路201号

IPC主分类号：

C23C4134

IPC分类号：

C23C406

代理机构：

北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638

代理人：

王凯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-14	公开	公开
2020-11-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 4/134 申请日:20191227
2021-06-15	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C 4/134 申请公布日:20200414

共 50 条

[1]

一种高密度金属靶材制备系统 [P].

蔺裕平 ;

韩刚库 .

中国专利 :CN211645367U ,2020-10-09

[2]

一种低真空氛围靶材制备工艺 [P].

蔺裕平 ;

韩刚库 .

中国专利 :CN111057989A ,2020-04-24

[3]

一种超高密度的ITO靶材制备工艺 [P].

曾墩风 ;

张兵 ;

王志强 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN118978397A ,2024-11-19

[4]

一种高密度靶材及其制备方法 [P].

罗斯诗 ;

李开杰 ;

邵学亮 ;

顾德盛 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN117209257B ,2025-11-28

[5]

一种低色差高密度的IZO靶材制备工艺 [P].

曾墩风 ;

王志强 ;

鄢波 ;

曾探 .

中国专利 :CN120423855A ,2025-08-05

[6]

一种高密度镍镁氧靶材及其制备方法 [P].

谢小林 ;

张世翔 ;

潘泓羽 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN117776673A ,2024-03-29

[7]

一种高纯、高密度GaTe靶材的制备方法 [P].

沈文兴 ;

白平平 ;

童培云 .

中国专利 :CN114645252A ,2022-06-21

[8]

一种高密度IGZO旋转靶材的制造方法 [P].

张士察 ;

孙振德 ;

徐齐光 .

中国专利 :CN105906338A ,2016-08-31

[9]

一种高密度混凝土及其制备工艺 [P].

苏永青 .

中国专利 :CN113213837B ,2021-08-06

[10]

一种高纯高密度石墨靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

宋阳阳 ;

吴东青 .

中国专利 :CN119430937A ,2025-02-14

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