一种高密度IGZO旋转靶材的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610245095.2

申请日：

2016-04-19

公开(公告)号：

CN105906338A

公开(公告)日：

2016-08-31

发明(设计)人：

张士察孙振德徐齐光

申请人：

申请人地址：

101100 北京市通州区经济开发区东区靓丽五街06号

IPC主分类号：

C04B35453

IPC分类号：

C04B35622

代理机构：

北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015

代理人：

齐永红

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C04B 35/453 申请公布日:20160831
2016-08-31	公开	公开
2016-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101680684623 IPC(主分类):C04B 35/453 专利申请号:2016102450952 申请日:20160419

共 50 条

[1]

一种大尺寸高密度细晶粒ITO靶材的常压烧结制造方法 [P].

张士察 ;

孙振德 .

中国专利 :CN105712719A ,2016-06-29

[2]

一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法 [P].

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

鄢波 ;

陈光园 .

中国专利 :CN120518390B ,2025-09-26

[3]

一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法 [P].

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

鄢波 ;

陈光园 .

中国专利 :CN120518390A ,2025-08-22

[4]

一种加镓的AZO高密度旋转靶材 [P].

胡茂横 ;

张剑华 .

中国专利 :CN206579222U ,2017-10-24

[5]

高密度ITO靶材及其制造方法 [P].

徐华蕊 ;

廖春图 ;

周怀营 ;

胡林轩 ;

刘心宇 .

中国专利 :CN1528945A ,2004-09-15

[6]

一种钴酸锂高密度旋转靶材 [P].

胡茂横 .

中国专利 :CN204417583U ,2015-06-24

[7]

一种压力烧结高密度ITO旋转靶材 [P].

胡茂横 .

中国专利 :CN205295447U ,2016-06-08

[8]

高纯高密度ITO靶材的制备方法 [P].

钟小华 ;

麻七克 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN105712703A ,2016-06-29

[9]

高密度ITO靶材的制备方法 [P].

黄岩 ;

丁迎春 ;

钱政宇 .

中国专利 :CN108911707A ,2018-11-30

[10]

一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法 [P].

马超宁 ;

牛潇迪 ;

黄誓成 ;

侯远欣 ;

孟红波 ;

王淑娜 .

中国专利 :CN118206360A ,2024-06-18

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