一种大尺寸高密度细晶粒ITO靶材的常压烧结制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610244597.3

申请日：

2016-04-19

公开(公告)号：

CN105712719A

公开(公告)日：

2016-06-29

发明(设计)人：

张士察孙振德

申请人：

申请人地址：

101100 北京市通州区经济开发区东区靓丽五街06号

IPC主分类号：

C04B3564

IPC分类号：

C04B35457

代理机构：

北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015

代理人：

齐永红

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-26	授权	授权
2016-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101671890586 IPC(主分类):C04B 35/64 专利申请号:2016102445973 申请日:20160419
2020-08-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C04B 35/64 登记生效日:20200805 变更事项:专利权人变更前权利人:北京冶科纳米科技有限公司变更后权利人:冶科金属有限公司变更事项:地址变更前权利人:101100 北京市通州区经济开发区东区靓丽五街06号变更后权利人:065200 河北省廊坊市三河市燕郊开发区燕昌路187号
2016-06-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高密度ITO靶材的常压烧结方法 [P].

唐智勇 .

中国专利 :CN112898013B ,2021-06-04

[2]

一种高密度IGZO旋转靶材的制造方法 [P].

张士察 ;

孙振德 ;

徐齐光 .

中国专利 :CN105906338A ,2016-08-31

[3]

高密度ITO靶材及其制造方法 [P].

徐华蕊 ;

廖春图 ;

周怀营 ;

胡林轩 ;

刘心宇 .

中国专利 :CN1528945A ,2004-09-15

[4]

高密度ITO靶材的制备方法 [P].

黄岩 ;

丁迎春 ;

钱政宇 .

中国专利 :CN108911707A ,2018-11-30

[5]

一种TFT级ITO靶材的常压烧结方法 [P].

黄誓成 ;

陆映东 ;

黄作 ;

武建良 ;

农浩 .

中国专利 :CN105294072B ,2016-02-03

[6]

高纯高密度ITO靶材的制备方法 [P].

钟小华 ;

麻七克 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN105712703A ,2016-06-29

[7]

一种超高密度细晶ITO靶材的生产方法 [P].

黄誓成 ;

陆映东 ;

张倍维 ;

梁盈祥 ;

覃当凤 .

中国专利 :CN111116194B ,2020-05-08

[8]

一种高密度ITO靶材的制备方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 ;

曹立江 ;

王凤雷 ;

李丽娜 ;

乔向力 .

中国专利 :CN104909723A ,2015-09-16

[9]

一种ITO靶材的常压烧结方法 [P].

王凯 ;

黄誓成 ;

农浩 ;

莫斌 ;

韦林超 ;

张倍维 ;

谭泽旦 .

中国专利 :CN115677361A ,2023-02-03

[10]

一种高密度ITO靶材的制备方法 [P].

朱归胜 ;

龙神峰 ;

徐华蕊 ;

赵昀云 .

中国专利 :CN113461420A ,2021-10-01

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