金属蚀刻液及金属蚀刻方法

被引：0

申请号：

CN202011209219.4

申请日：

2020-11-03

公开(公告)号：

CN114438495A

公开(公告)日：

2022-05-06

发明(设计)人：

许靖惟

申请人：

申请人地址：

242000 安徽省宣城市宣州经济开发区叠翠西路2号

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;姜精斌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-06	公开	公开
2022-05-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20201103

共 50 条

[1]

金属蚀刻液组合物及其蚀刻方法 [P].

颜子钧 ;

李家兴 ;

邱少华 ;

雷伯钧 ;

李森雄 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN102102206A ,2011-06-22

[2]

金属布线蚀刻液以及利用该蚀刻液的金属布线形成方法 [P].

郑钟铉 ;

洪瑄英 ;

徐南锡 ;

朴弘植 ;

宋溱镐 ;

金俸均 ;

李旺宇 ;

李骐范 ;

曹三永 ;

金图元 ;

金相佑 ;

申贤哲 ;

徐源国 .

中国专利 :CN102234805A ,2011-11-09

[3]

一种金属蚀刻液 [P].

鄢艳华 ;

郭启祯 ;

赵大成 .

中国专利 :CN115679321A ,2023-02-03

[4]

一种金属蚀刻液 [P].

鄢艳华 ;

郭启祯 ;

赵大成 .

中国专利 :CN115679321B ,2024-12-13

[5]

电场活化蚀刻系统及金属铜蚀刻的方法 [P].

李国法 ;

李芸萱 .

中国专利 :CN120666427A ,2025-09-19

[6]

用于铜/钼膜层的金属蚀刻液及其蚀刻方法 [P].

武岳 ;

雍玮娜 .

中国专利 :CN106498398A ,2017-03-15

[7]

用于铜/钼金属的蚀刻液组成物及蚀刻方法 [P].

林震威 ;

蔡墨勋 .

中国专利 :CN101418449A ,2009-04-29

[8]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

罗致远 ;

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611701A ,2015-05-13

[9]

金属膜蚀刻液组合物 [P].

刘仁浩 ;

朴英哲 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN107447217A ,2017-12-08

[10]

金属蚀刻方法、金属蚀刻控制方法及其装置 [P].

王静文 ;

贺成明 .

中国专利 :CN102812157B ,2012-12-05

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