一种降低碎片率的单晶硅片脱胶工装制具

被引：0

申请号：

CN202210091147.0

申请日：

2022-01-26

公开(公告)号：

CN114496897A

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

陈金桃谢士强陶慧生袁建建

申请人：

申请人地址：

239300 安徽省滁州市天长市经济开发区经三路东侧天汊路北侧

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

北京文苑专利代理有限公司 11516

代理人：

于利晓

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-13	公开	公开
2022-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20220126

共 50 条

[1]

一种单晶硅片脱胶设备 [P].

高树良 ;

李小锋 ;

张怿 .

中国专利 :CN119560407B ,2025-10-21

[2]

一种单晶硅片脱胶设备 [P].

高树良 ;

李小锋 ;

张怿 .

中国专利 :CN119560407A ,2025-03-04

[3]

一种用于单晶硅片的脱胶机 [P].

何其金 ;

何飞 ;

方艺霖 ;

徐小萍 ;

陈剑 .

中国专利 :CN223312609U ,2025-09-09

[4]

一种用于单晶硅片的脱胶机 [P].

曹志勇 ;

杭智华 ;

姜志刚 .

中国专利 :CN218108653U ,2022-12-23

[5]

一种单晶硅片脱胶机夹具 [P].

何其金 ;

何飞 ;

方艺霖 ;

徐小萍 ;

严磊 .

中国专利 :CN223023229U ,2025-06-24

[6]

一种单晶硅片制绒装置 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

赖锦香 .

中国专利 :CN215289040U ,2021-12-24

[7]

一种脱胶前单晶硅片的清洗装置 [P].

陈吉祥 ;

李竞宇 ;

张建国 .

中国专利 :CN203648897U ,2014-06-18

[8]

一种单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

光善如 ;

程世显 ;

熊文金 .

中国专利 :CN217797609U ,2022-11-15

[9]

一种单晶硅片的脱胶和收拢装置 [P].

何其金 ;

田晓军 ;

何其亮 ;

徐小萍 ;

于文敏 ;

王海峰 ;

赵秋 .

中国专利 :CN223321240U ,2025-09-09

[10]

一种单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

何其金 ;

方艺霖 ;

何飞 ;

张靖 ;

徐小萍 .

中国专利 :CN221453485U ,2024-08-02

← 1 2 3 4 5 →