一种单晶硅片水洗脱胶装置

被引：0

申请号：

CN202221927124.0

申请日：

2022-07-25

公开(公告)号：

CN217797609U

公开(公告)日：

2022-11-15

发明(设计)人：

光善如程世显熊文金

申请人：

申请人地址：

247000 安徽省池州市江南产业集中区新材料产业园9号厂房

IPC主分类号：

B08B104

IPC分类号：

B08B700 B08B1300 B08B1102 H01L2167 F26B2100

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

赖锦香 .

中国专利 :CN214516179U ,2021-10-29

[2]

一种单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

何其金 ;

方艺霖 ;

何飞 ;

张靖 ;

徐小萍 .

中国专利 :CN221453485U ,2024-08-02

[3]

一种高效的单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

陈春成 ;

戚建静 ;

徐芳 .

中国专利 :CN216965597U ,2022-07-15

[4]

一种单晶硅片水洗脱胶系统 [P].

李志伟 ;

尤飞 ;

周敏 ;

陈珉璐 ;

丁佳健 ;

唐彬彬 ;

邹昕宇 .

中国专利 :CN117160984B ,2024-04-12

[5]

一种高效的单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

孟超 .

中国专利 :CN109087848A ,2018-12-25

[6]

一种单晶硅棒水洗脱胶装置 [P].

刘科 .

中国专利 :CN209772838U ,2019-12-13

[7]

一种单晶硅片脱胶设备 [P].

高树良 ;

李小锋 ;

张怿 .

中国专利 :CN119560407B ,2025-10-21

[8]

一种单晶硅片脱胶设备 [P].

高树良 ;

李小锋 ;

张怿 .

中国专利 :CN119560407A ,2025-03-04

[9]

一种单晶硅片脱胶机夹具 [P].

何其金 ;

何飞 ;

方艺霖 ;

徐小萍 ;

严磊 .

中国专利 :CN223023229U ,2025-06-24

[10]

一种单晶硅棒切割后的水洗脱胶装置 [P].

邹文龙 ;

张力峰 .

中国专利 :CN216099754U ,2022-03-22

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