一种单晶硅片水洗脱胶系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311155612.3

申请日：

2023-09-08

公开(公告)号：

CN117160984B

公开(公告)日：

2024-04-12

发明(设计)人：

李志伟尤飞周敏陈珉璐丁佳健唐彬彬邹昕宇

申请人：

无锡中环应用材料有限公司

申请人地址：

214200 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道

IPC主分类号：

B08B3/10

IPC分类号：

B08B1/20 B08B1/12 B08B1/30 B08B13/00

代理机构：

无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32208

代理人：

丁雪强

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

赖锦香 .

中国专利 :CN214516179U ,2021-10-29

[2]

一种单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

何其金 ;

方艺霖 ;

何飞 ;

张靖 ;

徐小萍 .

中国专利 :CN221453485U ,2024-08-02

[3]

一种单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

光善如 ;

程世显 ;

熊文金 .

中国专利 :CN217797609U ,2022-11-15

[4]

一种高效的单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

孟超 .

中国专利 :CN109087848A ,2018-12-25

[5]

一种高效的单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

陈春成 ;

戚建静 ;

徐芳 .

中国专利 :CN216965597U ,2022-07-15

[6]

一种单晶硅片脱胶设备 [P].

高树良 ;

李小锋 ;

张怿 .

中国专利 :CN119560407B ,2025-10-21

[7]

一种单晶硅片脱胶设备 [P].

高树良 ;

李小锋 ;

张怿 .

中国专利 :CN119560407A ,2025-03-04

[8]

一种单晶硅棒水洗脱胶装置 [P].

刘科 .

中国专利 :CN209772838U ,2019-12-13

[9]

一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构 [P].

冯震坤 ;

章祥静 .

中国专利 :CN114517334A ,2022-05-20

[10]

一种单晶硅片脱胶机夹具 [P].

何其金 ;

何飞 ;

方艺霖 ;

徐小萍 ;

严磊 .

中国专利 :CN223023229U ,2025-06-24

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