互连中铜表面处理的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210414645.0

申请日：

2012-10-26

公开(公告)号：

CN103779269A

公开(公告)日：

2014-05-07

发明(设计)人：

平延磊鲍宇

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

牛峥;王丽琴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-07	公开	公开
2014-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582695586 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2012104146450 申请日:20121026
2019-02-26	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20140507

共 50 条

[1]

互连中铜表面处理的方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN103531530A ,2014-01-22

[2]

铜互连中空气隙的形成方法 [P].

胡正军 .

中国专利 :CN104465506B ,2015-03-25

[3]

一种去除铜互连中阻挡层残留的方法 [P].

黄仁东 .

中国专利 :CN102496598B ,2012-06-13

[4]

铜的表面处理方法及铜 [P].

山下智章 ;

中岛澄子 ;

伊藤定夫 ;

井上文男 ;

有家茂晴 .

中国专利 :CN102124145A ,2011-07-13

[5]

铜的表面处理方法以及铜 [P].

山下智章 ;

井上康雄 ;

松浦雅晴 ;

伊藤丰树 ;

清水明 ;

井上文男 ;

中祖昭士 .

中国专利 :CN101137768A ,2008-03-05

[6]

铜的表面处理方法及铜 [P].

山下智章 ;

中岛澄子 ;

伊藤定夫 ;

井上文男 ;

有家茂晴 .

中国专利 :CN104988503A ,2015-10-21

[7]

镶嵌于铜互连中的电容器结构及其形成方法 [P].

邹晓东 .

中国专利 :CN115700913A ,2023-02-07

[8]

铜互连线的刻蚀后处理方法 [P].

王冬江 ;

周俊卿 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102760685B ,2012-10-31

[9]

降低铜互连结构中铜的电迁移的方法及铜互连结构 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102214600A ,2011-10-12

[10]

铜互连方法 [P].

刘盛 .

中国专利 :CN101989569B ,2011-03-23

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