抽真空系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620782008.2

申请日：

2016-07-21

公开(公告)号：

CN205959959U

公开(公告)日：

2017-02-15

发明(设计)人：

张新泉黄早铭吴航张军

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街（东）308号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人：

蔡纯;张靖琳

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20190111 变更事项:专利权人变更前权利人:杭州士兰集成电路有限公司变更后权利人:成都士兰半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街（东）308号变更后权利人:610000 四川省成都市阿坝工业集中发展区内
2017-02-15	授权	授权

共 50 条

[1]

抽真空装置和抽真空系统 [P].

路红建 ;

闫德刚 ;

杨克庆 ;

李文涛 ;

张玉芳 .

中国专利 :CN208605333U ,2019-03-15

[2]

抽真空系统 [P].

李仕军 ;

姜翠宁 .

中国专利 :CN209293988U ,2019-08-23

[3]

氮化炉抽真空系统 [P].

王占营 ;

宋广林 ;

王志永 ;

王亚辉 ;

王占军 ;

赵万春 .

中国专利 :CN209412296U ,2019-09-20

[4]

抽真空系统 [P].

高险峰 ;

张超 ;

崔节 .

中国专利 :CN202278729U ,2012-06-20

[5]

抽真空系统 [P].

姜海虎 .

中国专利 :CN103520960A ,2014-01-22

[6]

一种气态TTA抽真空系统 [P].

黄海涛 ;

王宏 ;

李桂萍 .

中国专利 :CN205216244U ,2016-05-11

[7]

一种抽真空系统 [P].

原晓艳 ;

刘卫安 ;

王凯 ;

杜红军 ;

雷登科 ;

刘春阳 ;

张博 ;

刘佳 .

中国专利 :CN208554096U ,2019-03-01

[8]

卧式内加热抽真空系统 [P].

刘伯均 .

中国专利 :CN203927382U ,2014-11-05

[9]

一种抽真空系统 [P].

徐星 ;

谭锐 ;

李呈桐 ;

杨文正 ;

关凯 .

中国专利 :CN206772072U ,2017-12-19

[10]

带有抽真空系统的平板式PECVD工艺腔 [P].

傅林坚 ;

石刚 ;

洪昀 ;

吴威 ;

高振波 ;

王伟星 ;

祝广辉 .

中国专利 :CN206477025U ,2017-09-08

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